這家成立不到4年的公司，造出了國產(chǎn)28納米光刻機(jī)？

2025/3/29 19:35:34 挖貝網(wǎng) 周路遙

半導(dǎo)體領(lǐng)域，當(dāng)前最火的話題莫過于最近風(fēng)頭大盛的新凱來（SiCarrier Technologies）了。

近期在上海舉行的SEMICON China 2025上，這家成立不到四年的公司，一口氣展出了30余款產(chǎn)品，包括：

擴(kuò)散裝備RTP（三清山）、EPI（峨眉山）；刻蝕產(chǎn)品ETCH（武夷山）；薄膜產(chǎn)品PVD（普陀山）、CVD（長白山(603099)）、ALD（阿里山）；光學(xué)檢測產(chǎn)品岳麓山BFI、丹霞山DFI、蓬萊山PC、莫干山MBI；光學(xué)量測產(chǎn)品天門山IBO、天門山DBO；PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、赤壁山-XP XPS、赤壁山-XD XRD、赤壁山-XF XRF；功率檢測產(chǎn)品RATE-CP、RATE-KGD、RATE-FT。

從公開資料來看，這些設(shè)備的技術(shù)含量還相當(dāng)高。

行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。

另外，活動(dòng)現(xiàn)場一名新凱來工作人員表示，其中一些設(shè)備（包括不在產(chǎn)品清單上的刻蝕設(shè)備）能夠支持5納米芯片的生產(chǎn)。

而且，這還不是最讓人震驚的，最讓人震驚的是，新凱來連光刻機(jī)都造。

據(jù)多家外媒報(bào)道，新凱來已成功研發(fā)出適用于 300 毫米晶圓的 28nm 浸潤式光刻系統(tǒng)，其光源波長、套刻精度等核心技術(shù)參數(shù)達(dá)到國際同類產(chǎn)品水平。

這就好比一個(gè)4歲的小孩，突然跑過來告訴你，他18般武藝樣樣精通。而且更讓人震驚的是，他還掌握了至高心法——光刻機(jī)的制造。

新凱來是何方神圣？

羅馬不是一天建成的。能在這么短的時(shí)間內(nèi)，取得這樣的成績，新凱來大概率大有來頭！

企查查顯示，新凱來成立于2021年8月，注冊資本15億元，由深圳市國資委全資控股。同時(shí)，新凱來在官網(wǎng)表示，公司核心團(tuán)隊(duì)具備20年以上電子設(shè)備技術(shù)開發(fā)經(jīng)驗(yàn)，并聯(lián)合了眾多國內(nèi)半導(dǎo)體制造設(shè)備和零部件合作伙伴，為國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠、FAB廠、電子電器設(shè)備廠、研究機(jī)構(gòu)提供先進(jìn)的解決方案，相關(guān)產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于國內(nèi)頂級(jí)制造企業(yè)和研究、測試機(jī)構(gòu)。

據(jù)日經(jīng)亞洲報(bào)道，新凱來在深圳政府的支持下,一直在開發(fā)芯片制造設(shè)備,并將ASML,Applied Materials和Lam Research等公司的機(jī)器作為基準(zhǔn)。

不過這依然不能解釋新凱來為什么能在4年內(nèi)造出包括28納米光刻機(jī)在內(nèi)的30余款先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備。芯辰大海在查閱資料時(shí)，看到了一些小道消息，當(dāng)然這些消息不保真。

其70%的核心研發(fā)團(tuán)隊(duì)來自華為海思和2012實(shí)驗(yàn)室，技術(shù)路線更延續(xù)了華為被制裁后啟動(dòng)的“備胎計(jì)劃”。2022年，華為將半導(dǎo)體設(shè)備子公司剝離給深圳國資委，這場低調(diào)的資本騰挪，讓華為的技術(shù)火種在國資護(hù)航下涅槃重生。

新凱來光刻機(jī)

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