在成為我國(guó)半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備龍頭后，中微公司（688012.SH）接下來(lái)會(huì)怎樣發(fā)展？在最近舉行的中微公司2024年度及2025年第一季度業(yè)績(jī)說(shuō)明會(huì)上，中微公司董事長(zhǎng)尹志堯?qū)Υ俗龀隽私獯穑?/p>

中微公司給的答案很簡(jiǎn)單，就是向平臺(tái)型半導(dǎo)體設(shè)備公司轉(zhuǎn)型。中微公司表示，目前中微可以覆蓋30%的集成電路設(shè)備，今后五到十年內(nèi)公司將與合作伙伴共同覆蓋60%的集成電路高端設(shè)備。

具體來(lái)看，中微公司此次戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型的核心抓手是三大半導(dǎo)體設(shè)備之一的薄膜設(shè)備（另外兩大設(shè)備是光刻設(shè)備和刻蝕設(shè)備）。公司強(qiáng)調(diào)，但相信3年到5年之內(nèi)，薄膜設(shè)備業(yè)務(wù)預(yù)計(jì)至少成長(zhǎng)到公司現(xiàn)在刻蝕設(shè)備業(yè)務(wù)一半的規(guī)模，達(dá)到同等數(shù)量級(jí)。

另外，中微公司還就當(dāng)前熱門的并購(gòu)重組潮回答了投資者的提問(wèn)，尹志堯表示，光靠并購(gòu)做大的公司根基不穩(wěn)，核心還是要增加自己的本事。

刻蝕業(yè)務(wù)：精度達(dá)到0.1納米及以下

在此次業(yè)績(jī)說(shuō)明會(huì)中，中微公司首先介紹了公司當(dāng)前的核心業(yè)務(wù)刻蝕業(yè)務(wù)。

2024年，中微公司刻蝕設(shè)備收入約72.77億元，在最近四年收入年均增長(zhǎng)超過(guò)50%的基礎(chǔ)上，又同比增長(zhǎng)約54.72%。 除了收入上的增長(zhǎng)，在技術(shù)和市場(chǎng)方面，中微公司的表現(xiàn)也可圈可點(diǎn)，呈現(xiàn)出產(chǎn)品覆蓋面廣和技術(shù)達(dá)到全球先進(jìn)水平兩大特點(diǎn)。

產(chǎn)品覆蓋面方面，中微公司董事長(zhǎng)尹志堯表示，在等離子體刻蝕領(lǐng)域，我們基本可以全面覆蓋，包括成熟及先進(jìn)邏輯器件、閃存、動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器、特殊器件等，并且已經(jīng)有95%到99%的應(yīng)用都有了批量生產(chǎn)的數(shù)據(jù)或客戶認(rèn)證的數(shù)據(jù)。

技術(shù)先進(jìn)性方面，尹志堯稱，工藝精度上，中微公司ICP刻蝕機(jī)Twin-star兩臺(tái)的加工精度已經(jīng)進(jìn)入皮米數(shù)量級(jí)，達(dá)到100皮米以下水平（1 納米=1000皮米）；雙臺(tái)刻蝕機(jī)實(shí)現(xiàn)原子、亞原子水平刻蝕控制，達(dá)到全球先進(jìn)水平。目前業(yè)內(nèi)量產(chǎn)所用刻蝕機(jī)的深寬比在60:1，中微公司正在突破90到100:1的深孔刻蝕。

值得注意的是，在2024年財(cái)報(bào)中，中微公司曾表示，公司刻蝕設(shè)備已應(yīng)用于全球先進(jìn)的5納米及以下集成電路加工制造生產(chǎn)線。在海外先進(jìn)的5納米芯片生產(chǎn)線及下一代更先進(jìn)的生產(chǎn)線上，公司的CCP刻蝕設(shè)備均實(shí)現(xiàn)了批量銷售，已有超過(guò)300 臺(tái)反應(yīng)臺(tái)在生產(chǎn)線合格運(yùn)轉(zhuǎn)。

向平臺(tái)公司發(fā)展 覆蓋60%的集成電路高端設(shè)備

雖然刻蝕業(yè)務(wù)才是當(dāng)前中微公司的核心業(yè)務(wù)，但接下來(lái)的中微公司關(guān)于非刻蝕業(yè)務(wù)的表述，才是此次中微公司業(yè)績(jī)說(shuō)明會(huì)的核心，這關(guān)系到中微公司未來(lái)的發(fā)展方向。

首先，尹志堯明確，未來(lái)中微公司將是一家平臺(tái)式的集團(tuán)公司。其表示，目前中微可以覆蓋30%的集成電路設(shè)備。而在今后五到十年內(nèi)，中微公司將與合作伙伴共同覆蓋60%的集成電路高端設(shè)備，包括刻蝕、薄膜及量檢測(cè)的全部設(shè)備，以及一部分濕法設(shè)備，成為平臺(tái)式的集團(tuán)公司。

其中，薄膜設(shè)備將是中微公司接下來(lái)工作的重心。

兵馬未動(dòng)糧草先行，中微公司首先加強(qiáng)了在薄膜業(yè)務(wù)方面的研發(fā)投入。尹志堯介紹，過(guò)去20年，中微公司大部分研發(fā)投入在刻蝕上，刻蝕占研發(fā)比例長(zhǎng)期保持在70%左右，最高甚至超過(guò)75%。但是，最近幾年，越來(lái)越多的錢投入到薄膜設(shè)備的研發(fā)上。因?yàn)楸∧さ姆N類非常多，所以說(shuō)研發(fā)投入與刻蝕沒(méi)有伯仲之分了。因此，也期待薄膜設(shè)備的收入體量快速增長(zhǎng)。

在不斷增長(zhǎng)的研發(fā)費(fèi)用的作用下，中微公司的研發(fā)效率大幅提升，同時(shí)薄膜業(yè)務(wù)迎來(lái)了快速發(fā)展。

中微公司介紹，十年前，我們一般需要三到五年來(lái)開發(fā)一個(gè)新產(chǎn)品，然后再花兩年時(shí)間進(jìn)入市場(chǎng)……從最新產(chǎn)品信息來(lái)看，現(xiàn)在我們只需要大約18個(gè)月，最多兩年就能完成新品研發(fā)，半年到一年就可以量產(chǎn)并進(jìn)入市場(chǎng)。

薄膜業(yè)務(wù)發(fā)展方面，中微公司2024年年報(bào)顯示，去年公司LPCVD實(shí)現(xiàn)首臺(tái)銷售，全年設(shè)備銷售額約1.56億元。目前，中微公司規(guī)劃了近40種導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備的開發(fā)。其中9種設(shè)備已經(jīng)完成開發(fā)，6款實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)運(yùn)轉(zhuǎn)1年，今年計(jì)劃將完成7種設(shè)備開發(fā)。

并且，對(duì)于公司薄膜業(yè)務(wù)未來(lái)的發(fā)展，尹志堯強(qiáng)調(diào)，我們很快將會(huì)把國(guó)際對(duì)國(guó)內(nèi)禁運(yùn)的20多種薄膜設(shè)備開發(fā)完成，預(yù)計(jì)到2029年完成所有開發(fā)……雖然公司薄膜設(shè)備現(xiàn)在的銷售額還不到10億，但相信3年到5年之內(nèi)，預(yù)計(jì)至少成長(zhǎng)到公司現(xiàn)在刻蝕設(shè)備一半的規(guī)模，達(dá)到同等數(shù)量級(jí)。

除了在技術(shù)方面推進(jìn)公司薄膜業(yè)務(wù)的發(fā)展，在產(chǎn)能方面中微公司也在進(jìn)行布局。今年初，中微公司曾發(fā)布公告稱，擬在成都市高新區(qū)投資設(shè)立全資子公司中微半導(dǎo)體設(shè)備（成都）有限公司，建設(shè)研發(fā)及生產(chǎn)基地暨西南總部項(xiàng)目。該項(xiàng)目總投資額30.5億元，將面向高端邏輯及存儲(chǔ)芯片，開展化學(xué)氣相沉積設(shè)備、原子層沉積設(shè)備及其他關(guān)鍵設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)工作。

當(dāng)然，除了薄膜業(yè)務(wù)，中微公司還在大力推進(jìn)量檢測(cè)設(shè)備業(yè)務(wù)和泛半導(dǎo)體業(yè)務(wù)的發(fā)展，此處就不一一列舉了。

會(huì)不會(huì)并購(gòu)？強(qiáng)調(diào)光靠并購(gòu)做大的公司根基不穩(wěn)

眾所周知，近期半導(dǎo)體行業(yè)迎來(lái)了一波并購(gòu)重組的大潮，典型的案例有海光信息合并吸收中科曙光、北方華創(chuàng)入主芯源微等。那么，作為A股第二大半導(dǎo)體設(shè)備公司，中微公司會(huì)加入到并購(gòu)重組的潮流中么？

從中微公司董事長(zhǎng)尹志堯的發(fā)言和中微公司的財(cái)務(wù)狀況來(lái)看，短期內(nèi)中微公司應(yīng)該不會(huì)進(jìn)行大規(guī)模的并購(gòu)重組。

在此次業(yè)績(jī)說(shuō)明會(huì)上，尹志堯表示， “中微公司從來(lái)都是有機(jī)生長(zhǎng)（自研）跟外延擴(kuò)張相結(jié)合。我們的基點(diǎn)在技術(shù)而不在并購(gòu)，光靠并購(gòu)做大的公司根基不穩(wěn)，核心還是要增加自己的本事?！?/p>

從具體案例上來(lái)看，中微公司也確實(shí)更傾向于自研，而非并購(gòu)。

比如說(shuō)，中微公司正在重點(diǎn)發(fā)展的薄膜設(shè)備業(yè)務(wù)。實(shí)際上中微公司是A股薄膜設(shè)備龍頭拓荊科技的第三大股東，持股比例為7.33%。但目前，并沒(méi)有任何中微公司要收購(gòu)或者吸收合并拓荊科技的消息。

另外從財(cái)務(wù)狀況來(lái)看，在不進(jìn)行融資的情況下，中微公司可能也難以進(jìn)行大規(guī)模的收購(gòu)。

截至2025 年 3月31日，中微公司的貨幣資金為78.35億元。雖然手握重金，但在今年初中微公司宣布了2個(gè)投資總額達(dá)到30億元的投資項(xiàng)目，分別是在成都高新區(qū)設(shè)立全資子公司并建設(shè)研發(fā)及生產(chǎn)基地暨西南總部項(xiàng)目以及在廣州建設(shè)華南總部及產(chǎn)品研發(fā)與生產(chǎn)基地。

不過(guò)，雖然短期內(nèi)可能不會(huì)進(jìn)行大規(guī)模的并購(gòu)，但中微公司正在通過(guò)投資的方式來(lái)擴(kuò)大自身在半導(dǎo)體行業(yè)的影響力。

據(jù)介紹，公司自上市以來(lái)斥資20多億元投資了約40家產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)，實(shí)現(xiàn)了浮盈50多億元的良好經(jīng)濟(jì)效益和戰(zhàn)略協(xié)同效果。其中公司參股投資的8家公司已完成A股上市。