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華特氣體打破國外技術(shù)壟斷 獲得獲廣東專利獎(jiǎng)金獎(jiǎng)
挖貝網(wǎng) 1月15日消息，由于突破高純氨氣純化關(guān)鍵技術(shù)難題，打破國外技術(shù)壟斷，華特氣體獲得第七屆廣東專利獎(jiǎng)金獎(jiǎng)和第二十一屆中國專利優(yōu)秀獎(jiǎng)。佛山南海區(qū)副區(qū)長喬吉飛昨日特地向華特氣體頒發(fā)牌匾及證書。
據(jù)介紹，華特氣體獲得第七屆廣東省專利獎(jiǎng)金獎(jiǎng)的專利是“一種氨氣的純化系統(tǒng)”（專利號(hào)：ZL201610972516.1），該系統(tǒng)經(jīng)閃蒸、多次吸附、精餾等工藝，能制取純度達(dá)99.99999%以上產(chǎn)品，突破高純氨氣純化關(guān)鍵技術(shù)難題）。此外，該專利能夠更好保障工作人員作業(yè)安全，生產(chǎn)過程節(jié)能環(huán)保，減少環(huán)境污染，有利于促進(jìn)半導(dǎo)體行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。
華特氣體獲得第二十一屆中國專利優(yōu)秀獎(jiǎng)的專利是“一種三氟甲烷純化裝置及純化方法”（專利號(hào)：ZL201410159290.4），該專利可獲得純度99.999%的CHF3產(chǎn)品，滿足半導(dǎo)體行業(yè)要求，采用該專利技術(shù)的高純度三氟甲烷產(chǎn)品已經(jīng)實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)。
華特氣體一直非常重視研發(fā)和知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)。截至2020年底，華特氣體母公司擁有有效專利79件，包括發(fā)明專利16件、實(shí)用新型62件和外觀設(shè)計(jì)1件。
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