一家為北方華創(chuàng)、中微公司、拓荊科技等國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭企業(yè)提供核心部件的企業(yè)，正在向科創(chuàng)板發(fā)起沖擊。

近日，科創(chuàng)板受理了恒運昌的IPO申請。該公司主要圍繞等離子體工藝打造產(chǎn)品矩陣，自研產(chǎn)品包括等離子體射頻電源系統(tǒng)、等離子體激發(fā)裝置、等離子體直流電源等；同時還為晶圓廠提供等離子體射頻電源系統(tǒng)原位替換及維修等技術(shù)服務(wù)。

目前，恒運昌的產(chǎn)品獲得了市場的廣泛認同，客戶包括拓荊科技、中微公司、北方華創(chuàng)、微導(dǎo)納米、盛美上海等國內(nèi)頭部半導(dǎo)體設(shè)備商，并已成為薄膜沉積、刻蝕環(huán)節(jié)國內(nèi)頭部設(shè)備商的戰(zhàn)略級供應(yīng)商。

等離子體工藝設(shè)備：構(gòu)成刻蝕機、薄膜設(shè)備的核心部件

眾所周知，刻蝕機、薄膜設(shè)備是半導(dǎo)體制造的核心設(shè)備。但是你知道刻蝕機、薄膜設(shè)備的核心零部件有哪些么？等離子體工藝設(shè)備就是其中一種。

在介紹離子體工藝設(shè)備前，我們必須了解什么是等離子體。這是在特定條件下氣體電離而產(chǎn)生的區(qū)別于固、液和氣三態(tài)的物質(zhì)第四態(tài)，閃電、火焰、太陽就是等離子體。等離子體由帶電粒子、中性粒子、自由基等組成，具有獨特的光、熱、電物理特性以及高活性、高能量的特點。

其中，刻蝕主要利用等離子體中的帶電離子，在電場中加速獲得了方向性，從而實現(xiàn)更精準地方向性刻蝕，能夠在極小范圍內(nèi)有選擇性地去除目標材料而不損壞其他部分；還能實現(xiàn)刻蝕的垂直形貌和高深寬比的刻蝕通孔。

薄膜沉積主要利用等離子體的高活性，從而降低溫度，加快化學(xué)反應(yīng)的速率，避免高溫對晶圓的損傷和副反應(yīng)的出現(xiàn)。并且還有提升薄膜沉積速率，實現(xiàn)良好的附著性、超薄均勻鍍膜、高臺階覆蓋率的工藝效果。

當(dāng)然，等離子體工藝設(shè)備的應(yīng)用領(lǐng)域并不止刻蝕和薄膜沉積兩個環(huán)節(jié)，還包括離子注入、清洗去膠、鍵合等環(huán)節(jié)以及光伏電池片的薄膜沉積、顯示面板鍍膜、精密光學(xué)鍍膜、常壓等離子體清洗等工業(yè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)。

成功替代海外設(shè)備 為晶圓廠的可持續(xù)性生產(chǎn)提供保障

恒運昌招股書顯示，等離子體射頻電源系統(tǒng)在晶圓廠使用過程中會出現(xiàn)老化、故障等問題，需要及時進行維修、更換。但由于一些眾所周知的原因，國內(nèi)主要晶圓廠被列入實體清單，無法向原海外設(shè)備供應(yīng)商申請采購備件或維修服務(wù)，導(dǎo)致生產(chǎn)可持續(xù)性出現(xiàn)較大風(fēng)險。

恒運昌強調(diào)，針對國內(nèi)晶圓廠已斷供或難以維修的等離子體射頻電源系統(tǒng)產(chǎn)品，公司承接了中芯國際、長江存儲等晶圓廠的進口等離子體射頻電源系統(tǒng)的原位替換或維修任務(wù)，為國內(nèi)晶圓廠的穩(wěn)定運轉(zhuǎn)和生產(chǎn)可持續(xù)性提供了堅實的保障。

具體來說，2021年，恒運昌向中芯國際交付Bestda等離子體射頻電源，實現(xiàn)了國內(nèi)首顆刻蝕設(shè)備用射頻電源的原位替換。2022年，恒運昌Aspen系列等離子體射頻電源和Basalt系列匹配器在中芯國際晶圓產(chǎn)線上替代了CVD（化學(xué)氣相沉積）工藝設(shè)備中的海外等離子體射頻電源及匹配器產(chǎn)品。

除了為晶圓廠提供替換服務(wù)，恒運昌的等離子體工藝設(shè)備還被廣泛用于中微公司、拓荊科技的新一代薄膜設(shè)備、刻蝕機中。

近年來，恒運昌在等離子體工藝設(shè)備方面取得了巨大的進步，公司Bestda系列和最新一代產(chǎn)品Aspen系列均已通過驗證并量產(chǎn)，其中Bestda系列可支撐28納米制程，最新一代產(chǎn)品Aspen系列可支撐14納米先進制程，并已達到與MKS、AE次新一代產(chǎn)品同等的性能指標。

恒運昌強調(diào)，2023年，公司最新一代的Aspen系列等離子體射頻電源和Basalt系列匹配器已經(jīng)隨拓荊科技新一代P系列薄膜沉積設(shè)備、中微公司新一代N系列刻蝕設(shè)備交付國內(nèi)頭部晶圓廠，目前已經(jīng)進入晶圓生產(chǎn)的正式驗證。