近期，科創(chuàng)板受理了芯密科技的上市申請。該公司的特別之處在于，它不僅在半導(dǎo)體關(guān)鍵領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)國產(chǎn)替代，還積極扶持國產(chǎn)核心原材料供應(yīng)商的發(fā)展。

招股書顯示，芯密科技核心產(chǎn)品是全氟醚橡膠密封圈等半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件，能夠有效勝任半導(dǎo)體前道制程核心工藝設(shè)備不同型號和全系列點(diǎn)位的嚴(yán)苛真空密封要求，打破了美國杜邦、美國GT、英國PPE等外資企業(yè)在我國半導(dǎo)體級全氟醚橡膠密封圈領(lǐng)域的壟斷局面。

在自身獲得發(fā)展的同時(shí)，芯密科技致力于構(gòu)建更加穩(wěn)定的供應(yīng)鏈，積極扶持國產(chǎn)核心原材料供應(yīng)商發(fā)展，目前已形成多系列產(chǎn)品并實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定供貨。

半導(dǎo)體用全氟醚橡膠圈難在哪？

芯密科技的產(chǎn)品說簡單倒也簡單，就是密封用的全氟醚橡膠圈。經(jīng)過多年努力，芯密科技已成功開發(fā)并量產(chǎn)10余款全氟醚橡膠材料，在研10余款全氟醚橡膠新材料，累計(jì)開發(fā)并量產(chǎn)2,000余款全氟醚橡膠密封圈，在刻蝕、薄膜沉積、熱處理、清洗等前道制程核心工藝設(shè)備的全系列真空密封點(diǎn)位上全面實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)替代。

但由于半導(dǎo)體前道工藝的加工環(huán)境往往十分惡劣，并且對純度要求極高。這就導(dǎo)致了芯密科技的產(chǎn)品看起來可能很普通，但實(shí)際制造難度極大。

就拿半導(dǎo)體工藝中的清洗環(huán)節(jié)來說吧，這可不是用水清洗，而是HCl、HNO3、H3PO4、HF、CuSO4等20多種高濃度強(qiáng)腐蝕性混合液體。所以清洗用全氟醚橡膠密封圈的核心性能之一就是耐腐蝕性液體，需要在清洗設(shè)備中能夠長期耐受高濃度強(qiáng)酸、強(qiáng)堿和有機(jī)溶劑等混合化學(xué)液體侵蝕而不產(chǎn)生質(zhì)量損耗和體積變化，以有效防止液體泄漏，保障清洗工藝的純凈度和化學(xué)液體密封的有效性。

更重要的是，半導(dǎo)體工藝越先進(jìn)，加工環(huán)境往往就越惡劣，對全氟醚橡膠密封圈的性能要求就越高。

比如等離子刻蝕，這有點(diǎn)類似于用水刀進(jìn)行雕刻，雕刻的深度越深，需要的水流的速度就越大。等離子刻蝕就是把水流換成了高速運(yùn)動(dòng)的等離子體，如果要實(shí)現(xiàn)深寬比超過100:1的刻蝕，需要用等離子體射頻電源系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)離子以超過100,000m/s的速度運(yùn)動(dòng)。隨著深寬比的增加，等離子刻蝕環(huán)節(jié)用全氟醚橡膠密封圈的耐等離子性能要求也越來越高。

覆蓋十大晶圓制造廠中的九家 扶持國產(chǎn)全氟醚生膠供應(yīng)商

對我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)來說，芯密科技的崛起有著兩重意義。首先對下游的半導(dǎo)體設(shè)備和晶圓制造廠來說，它的意義在于國產(chǎn)替代；其次是對更上游的原材料供應(yīng)商來說，芯密科技在崛起過程中，同樣在扶持國產(chǎn)供應(yīng)商的發(fā)展，為構(gòu)建更加穩(wěn)定的半導(dǎo)體供應(yīng)鏈，盡了自己的一份力。

根據(jù)弗若斯特沙利文統(tǒng)計(jì)，半導(dǎo)體級全氟醚橡膠密封圈2024年的國產(chǎn)化率不足10%。隨著芯密科技產(chǎn)品成功實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破、達(dá)到國際先進(jìn)技術(shù)水平并可與美國杜邦、美國GT、英國PPE等外資企業(yè)直接競爭，公司自2021年起已先后成功通過國內(nèi)主流知名半導(dǎo)體廠商的嚴(yán)苛產(chǎn)品驗(yàn)證并實(shí)現(xiàn)批量穩(wěn)定供應(yīng)，包括中國大陸前十大晶圓制造廠商中的九家公司，中國大陸前五大半導(dǎo)體設(shè)備廠商中的四家公司。充分保障了我國半導(dǎo)體國產(chǎn)設(shè)備原裝零部件和晶圓廠耗材替換的日常穩(wěn)定供應(yīng)。

并且，芯密科技不只是在成熟工藝工藝領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)國產(chǎn)替代，還在232層NAND存儲芯片、19nm及以下DRAM存儲芯片和5nm-14nm邏輯芯片等先進(jìn)制程實(shí)現(xiàn)突破和規(guī)模化銷售。

不僅如此，芯密科技還注重國產(chǎn)全氟醚生膠供應(yīng)商的開發(fā)培育和技術(shù)合作，成功研制出基于國產(chǎn)全氟醚生膠的成熟配方體系和多系列產(chǎn)品并實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定供貨。在深耕半導(dǎo)體級全氟醚橡膠密封圈的同時(shí)，芯密科技還不斷拓展業(yè)務(wù)邊界，豐富產(chǎn)品品類，成功開發(fā)腔體閥板和管道閥板等全氟醚橡膠功能部件，為公司的持續(xù)發(fā)展注入新的動(dòng)力。

功夫不負(fù)有心人，根據(jù)弗若斯特沙利文統(tǒng)計(jì)，2023年、2024年芯密科技半導(dǎo)體級全氟醚橡膠密封圈銷售規(guī)模連續(xù)兩年在中國市場排名第三，在中國企業(yè)中排名第一，已在行業(yè)內(nèi)具備較高知名度和市場影響力。